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據(jù)彭博社報道，ASML新一代EUV每臺耗電約1百萬瓦，三星、臺積電等芯片制造大廠能源消耗巨大；臺積電對化石燃料高度依賴，2025年耗能估占中國臺灣省的12.5%。 世界僅此一家的EUV公司ASML，旗下新一代的EUV光刻機耗資高達1.5億美元，包含10萬個部件和長達2公里的布線。EUV光刻機體現(xiàn)著更先進芯片的制造過程正變得復(fù)雜和能源密集。ASML當前每臺EUV的額定耗電量約為1百萬瓦，約為前幾代設(shè)備的10倍，但由于沒有替代品來制造最先進的半導(dǎo)體，芯片行業(yè)可能成為減少全球碳排放的重要絆腳石。