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為了追趕臺積電，很顯然三星也在努力的采購ASML的最新一代光刻機，而花費也是巨大的。 據韓國媒體報道稱，三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協(xié)議。