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對于芯片廠商而言，光刻機顯得至關(guān)重要，而ASML也在積極布局新的技術(shù)。據(jù)外媒報道稱，截至 2022 年第一季度，ASML已出貨136個EUV系統(tǒng)，約曝光7000萬個晶圓已曝光。