EUV光刻機(jī)是研制先進(jìn)芯片的一條路徑,但并非唯一解。對于國內(nèi)廠商來說,當(dāng)前在3D NAND閃存的發(fā)展上,就因?yàn)椴恍枰狤UV機(jī)器,從而找到了技術(shù)追趕的機(jī)會。而在DRAM內(nèi)存芯片領(lǐng)域,盡管三星、美光、SK海力士找到的答案都是EUV,可來自浙江海寧的芯盟則開辟出繞過EUV光刻的新方案。