3月份美國(guó) 3M 公司停止運(yùn)營(yíng)其位于比利時(shí)的 PFAS(全氟 / 多氟烷基化合物)制冷劑工廠,一度引發(fā)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界關(guān)注,因 PFAS 在光刻、刻蝕工藝中有重要應(yīng)用。 日經(jīng)新聞日前刊文指出,這一事件只是歐美環(huán)保新規(guī)影響的開(kāi)端,由于歐洲國(guó)家試圖在2025年全面限制 PFAS 的制造、使用和出口,業(yè)界擔(dān)心由于替代產(chǎn)品導(dǎo)入存在不確定性,此舉將導(dǎo)致相關(guān)半導(dǎo)體材料的長(zhǎng)期短缺。