無(wú)塵車間即凈化車間，亦稱為無(wú)塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

無(wú)塵車間內(nèi)部氣流速度，要根據(jù)無(wú)塵車間的用途來(lái)定，不僅受內(nèi)部發(fā)塵量，還受到其他因素影響，就無(wú)塵車間工程而言，氣流速度的因素主要包括以下一些：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大。

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線，但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流，而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。

(3)自凈時(shí)間的控制要求：無(wú)塵車間中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來(lái)潔凈度的自凈時(shí)間決定于氣流速度，對(duì)自凈時(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)，對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力。

(4)末級(jí)過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較率的過濾器以降低氣流速度。為節(jié)能應(yīng)考慮采用較率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積小。

(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果。

(6)對(duì)潔凈度要求低的無(wú)塵車間，有時(shí)換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。

下面就細(xì)說一下無(wú)塵車間可以分為哪些級(jí)別：

1級(jí)。這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的要求為亞微米。

10級(jí)。這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。

100級(jí)。很多人認(rèn)為，這一級(jí)無(wú)塵車間是常用因而是重要的無(wú)塵車間，人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無(wú)菌室，以說明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求，100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室大量應(yīng)用于，植如體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造。

1000級(jí)。這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。

10000級(jí)。萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

100000級(jí)。十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車間。