電火花加工是由許多微觀的單脈沖放電過程組成的。正常的單脈沖放電過程包括兩極間介質(zhì)的電離、擊穿，形成放電通道，放電通道內(nèi)的瞬時高溫使工作液氣化、裂化，金屬材料熔化、氣化，瞬時高壓使加工屑被拋入工作液中，隨著脈沖放電的結(jié)束，兩極間介質(zhì)進行消電離，恢復(fù)絕緣的復(fù)雜過程。

如果從宏觀說明的話：放電的加工原理是通過無限靠近但不接觸的正負帶電體（即電極與工件），在絕緣液（火花油）作用下，將電能轉(zhuǎn)變成熱能的過程（瞬間10000度左右），從而達到腐蝕加工物成型的目的。

如果從微觀說明的話：放電的加工原理是通過機械控制使帶負的電極，無限靠近，但不接觸帶正電的工件時，產(chǎn)生強大電常從而產(chǎn)生電子流，沖擊絕緣液微粒的外圍電子，使其電子數(shù)目以金字塔的形式大量增加，然后以的加速度與速度轟擊工件表面的原子微粒，使其產(chǎn)生高溫后在爆破力的作用下脫落。