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中國(guó)科學(xué)院微電子研究所

主營(yíng):射頻電源,自動(dòng)匹配器

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聯(lián)系方式
  • 公司: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
  • 地址: 中國(guó)北京朝陽(yáng)區(qū)北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
  • 聯(lián)系: 秦先生
  • 手機(jī): 18500193075
  • 電話: 010-82995634
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中國(guó)科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組()從1984年開(kāi)始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz),1985年研制成功,獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。

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