太陽(yáng)能擴(kuò)散爐主要滿(mǎn)足光伏電池生產(chǎn)線對(duì)125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有第二代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。
技術(shù)指標(biāo):
可處理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu)
載片量:400片/管
擴(kuò)散方式:閉管擴(kuò)散、軟著陸全封閉
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性: ≤±1℃/24h
溫度控制:5段控溫
總功率:120KVA
送片裝置:懸臂推拉舟,碳化硅槳載重17kg
氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管
氣體控制:進(jìn)口MFC
控制方式:工控機(jī)、觸摸屏
Thinnerwafers:180Um
Break rate:0.8%
方阻均勻度范圍:片內(nèi)±5%,片間±5%,批間±5%