LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。

主要性能指標(biāo)：

外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)，水平爐管

工作溫度：200℃—1100℃

恒溫區(qū)長度：≥600mm

硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片

恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))

單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi))

溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘

工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制

氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S

送料機構(gòu)：懸臂石英桿載料，手動

報警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警

控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制