小型直流式濺射儀KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復(fù)原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

*外形小巧方便移動

*觸摸屏控制，工藝記憶儲存方便鍍相同樣品

*自動化電動擋板，能自動打開關(guān)閉，保證鍍樣時間和保護樣品

*石英＋不銹鋼腔體，方便觀察和清洗

小型直流式濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V 電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口