PECVD射頻模塊：PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質發(fā)生化學物質，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊技術資料

型號

KT--PE150S

KT-PE500Z

信號頻率

13.56MH?±0.005%

功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩(wěn)定度

≤5W

反射功率

40W

射頻輸出接口

7/16 female 50 Ω

功率穩(wěn)定度

≤5W

匹配方式

手動調(diào)節(jié)匹配

500W自動匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

≤30Pa

供電電壓

AC220V±10% 50/60H?

整機效率

≥70%

冷卻方式

強制風冷

支持爐管直徑

Φ25mm--φ80mm

Φ25mm--150mmφ

感應區(qū)

210mm

整機重量

48KG

整機尺寸:H×W×D(mm)

600×600×1100