等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗目的．

等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX

供電電源

AC220V（AC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

＜0.2MHz

特性阻抗

50歐姆，手動(dòng)匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤100Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

觀察窗內(nèi)徑

Φ65

氣體流量

10—100ml/min（其他量程可選）

過程控制

過程手動(dòng)控制

清洗時(shí)間

手動(dòng)開關(guān)

開蓋方式

鉸鏈側(cè)開式法蘭

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說明書一本。