氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用普瑞公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。
氪分析用氦離子色譜儀參考:GB/T 5829-2006氪氣項目
指標(biāo)
高純氪
純氪
一等品
合格品
氪氣(Kr)(體積分?jǐn)?shù))/10-2
≥
99.999
99.995
99.99
氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-6
≤
2
8
20
氧(O2)+氬(Ar)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
1.5
5
5
氫(H2)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
0.5
1
2
一氧化碳(CO)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
0.3
0.4
1
二氧化碳(CO2)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
0.4
0.8
1
甲烷(CH4)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
0.3
0.8
1
水分(H2O)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
2
3
5
氙氣(Xe)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
2
20
50
氟化物(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
≤
1
10
15