高精度氣體配比器,主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境,控制方式采用數(shù)字控制 精度高 抗干擾能力強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意修改氣體。
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用CS200或CS100質(zhì)量流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng),閥門(mén)采用高壓球閥做截止閥,氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備;
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混合配氣系統(tǒng)
6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)
7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備
8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所。
技術(shù)參數(shù):
氣體通道
2進(jìn)1出(KT-C2ZS)
3進(jìn)1出(KT-C3ZS)
4進(jìn)1出(KT-C4ZS)
可根據(jù)需求定制
產(chǎn)品類(lèi)型
高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程
20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
產(chǎn)品精度
高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S
重復(fù)精度
高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S
線性
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
響應(yīng)時(shí)間
高精度型≤1sec 普通型≤2sec
工作溫度范圍
(5~45)°C
供電電源
~85-265VAC 50/60Hz
功耗
40W
進(jìn)氣口壓
≤0.6MPa
連接管道
316不銹鋼管道
截止閥類(lèi)型
電磁閥
單向閥開(kāi)啟壓力
0.02Mpa
壓力顯示量程
0-0.6Mpa
控制方式
7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時(shí)間設(shè)定
0-32000分鐘
清洗功能
一鍵清洗
程序控制
5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示
不銹鍘機(jī)械壓力表
氣體混合罐
有(內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻)
流量累計(jì)
有(累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量)
可選進(jìn)出氣口接頭形式
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾
有
外形尺寸
約500x380x380mm
重量
18KG~20KG