鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢

1、樣品臺旋轉(zhuǎn)，多樣品同時鍍膜時，鍍膜厚度比較均勻。

2、預濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì)，擋板可以保護樣品，提高薄膜質(zhì)量

3、帶有水冷系統(tǒng)，可以長時間濺射鍍膜，厚度可達1微米以上。

4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬快能達到1-2納米每秒，

5、不但可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極。

6、可擴展膜厚監(jiān)測，監(jiān)測薄膜厚度。

濺射儀使用需注

1 靶材需要良好的導電性, 如果具備這個條件 可以鍍

2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色