溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。

半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長凈室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>

標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計規(guī)范

一、工業(yè)廠房設(shè)計必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。

二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的工業(yè)廠房設(shè)計，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設(shè)計。

三、條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時，工業(yè)廠房設(shè)計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

四、工業(yè)廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測試和運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。

五、工業(yè)廠房設(shè)計除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。

六、工業(yè)廠房是由獨(dú)立一棟建筑物（車間），和獨(dú)立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標(biāo)準(zhǔn)是10米，近不得少于5米，以便消驗(yàn)收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。