大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)(ECM),這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比,MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定,不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng),MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊,而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小,這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前,集成電路工藝正越來越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號(hào)處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的,有研究報(bào)道稱,制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是,在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下,這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB),這對(duì)于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí),其諧振頻率將增大,卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然,可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率,但是這仍將減小靈敏度。由此可見,壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。
電容型
電容式麥克風(fēng)有兩塊金屬極板,其中一塊表面涂有駐極體薄膜(多數(shù)為聚全氟乙丙烯)并將其接地,另一極板接在場(chǎng)效應(yīng)晶體管的柵極上,柵極與源極之間接有一個(gè)二極管。當(dāng)駐極體膜片本身帶有電荷,表面電荷地電量為Q,板極間地電容量為C,則在極頭上產(chǎn)生地電壓U=Q/C,當(dāng)受到振動(dòng)或受到氣流地摩擦?xí)r,由于振動(dòng)使兩極板間的距離改變,即電容C改變,而電量Q不變,就會(huì)引起電壓的變化,電壓變化的大小,反映了外界聲壓的強(qiáng)弱,這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率,這就是駐極體傳聲器地工作原理
頻響特性:
話筒0°主軸上靈敏度隨頻率而變化的特性。要求有合適的頻響范圍,且該范圍內(nèi)的特性曲線要盡量平滑,以改善音質(zhì)和抑制聲反饋。同樣的聲壓,而頻率不同的聲音施加在話筒上時(shí)的靈敏度就不一樣,頻響特性通常用通頻帶范圍內(nèi)的靈敏度相差的分貝數(shù)來表示。通頻帶范圍愈寬,相差的分貝數(shù)愈少,表示話筒的頻響特性愈好,也就是話筒的頻率失真小。
專業(yè)麥克風(fēng):
專業(yè)麥克顧名思義是有別于普通民用麥克風(fēng)。
從種類上來分目前主要有電容麥克風(fēng)(包括駐極體也叫預(yù)極化)、動(dòng)圈麥克風(fēng)、鋁帶麥克風(fēng)等。
從功能大概組要分三類:
,演出用麥克風(fēng),主要使用動(dòng)圈麥克風(fēng)和電容麥克風(fēng)(主要根據(jù)使用場(chǎng)合和要求不同而選擇)。
第二,錄音用麥克風(fēng),主要使用電容麥克風(fēng)和鋁帶話筒,錄音用電容話筒不包括駐極體麥克風(fēng)。
第三,會(huì)議用麥克風(fēng),主要使用駐極體和少量的動(dòng)圈麥克。