一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風。這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風有相當難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風的研究一直沒有間斷過

相比傳統(tǒng)的駐極體麥克風，微機電系統(tǒng)（micro-electro-mechanical systems，MEMS）麥克風擁有體積小、耐熱性好、一致性好、穩(wěn)定性好、可靠性高、抗射頻干擾等優(yōu)勢，還可以輸出數(shù)字信號并有利于智能化發(fā)展，其市場規(guī)模在近10年保持快速增長的勢頭，各種新興應用層出不窮，從智能手機到智能音箱，再到真無線立體聲（true wireless stereo，TWS）耳機。

電容型

電容式麥克風有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙丙烯）并將其接地，另一極板接在場效應晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個二極管。當駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產生地電壓U=Q/C，當受到振動或受到氣流地摩擦時，由于振動使兩極板間的距離改變，即電容C改變，而電量Q不變，就會引起電壓的變化，電壓變化的大小，反映了外界聲壓的強弱，這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率，這就是駐極體傳聲器地工作原理

電容式麥克風的膜片多采用聚全氟乙丙烯，其濕度性能好，產生的表面電荷多，受濕度影響小。由于這種傳聲器也是電容式結構，信號內阻很大，為了將聲音產生的電壓信號引出來并加以放大，其輸出端也必須使用場效應晶體管