美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,的等級為Class 1,差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。
并裝局部超凈間(Clean Spot):將超凈間等級10,000~100,000之亂流超凈間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
潔凈工作棚:為在亂流式之超凈間空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。