無塵潔凈車間,是指無塵車間,美國國家航空航天局( NASA )飛往太陽系天體的太空行動要能夠維持生命,或者可能要維持處于基本進化狀態(tài)的生命,對于太空船表面上的孢子數(shù)有嚴格的限制要求。
1、進入潔凈室之前,預先清潔儀器、人員以及零件;
2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;
3、HEPA過濾;
4、增強工藝以減少顆粒/沉淀物的產生;
5、保護性外衣;
6、清潔;
7、雙門配置將相鄰的空間分開,包括運送和接收區(qū)域。
在將關鍵空間設計為分級的潔凈室是合理的。
污染物微粒聚集在組件不適當?shù)奈恢蒙峡赡軙p害其功能或者使其徹底報廢。柴油噴射技術就是一個很好的例子。從1996年開始,在五年時間里這項技術性能迅速提高,結果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產這類系統(tǒng)時只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進行。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產)等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。