潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對(duì)環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò)，在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64位儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形過(guò)濾器，也可以用普通過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)（100級(jí)）潔凈度。

潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。例如，在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”（一側(cè)敞開），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實(shí)現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級(jí)以上潔凈度，工作臺(tái)就設(shè)在“隧道內(nèi)”。

當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過(guò)大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。