1、進(jìn)入潔凈室之前，預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護(hù)性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運(yùn)送和接收區(qū)域。

在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級的潔凈室是合理的。

污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙p害其功能或者使其徹底報(bào)廢。柴油噴射技術(shù)就是一個很好的例子。從1996年開始，在五年時間里這項(xiàng)技術(shù)性能迅速提高，結(jié)果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上，燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時只是保證不同的組件高度清潔是不夠的，組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行。

單向流潔凈室：單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室，尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言，其負(fù)荷特點(diǎn)是：由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大，故新風(fēng)處理所需冷量消耗大；送風(fēng)量大，輸送動力消耗大，風(fēng)機(jī)管道溫升高；生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量（減少排風(fēng)量）；控制送風(fēng)量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風(fēng)量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。