非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(或亞)盡量接近潔凈室,它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口,也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上;回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部,目的是避免出現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。
矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形過濾器,也可以用普通過濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(100級)潔凈度。
潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實際應(yīng)用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級以上潔凈度,工作臺就設(shè)在“隧道內(nèi)”。
當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
為了防止灰塵的二次飛揚(yáng),氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。