無塵潔凈車間,是指無塵車間,美國國家航空航天局( NASA )飛往太陽系天體的太空行動要能夠維持生命,或者可能要維持處于基本進化狀態(tài)的生命,對于太空船表面上的孢子數(shù)有嚴格的限制要求。
在制造環(huán)境中,人們所關注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會像煙霧那樣散開,而會掉到組件的表面上,所以與在半導體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關注的范圍也越來越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側,以提高室內的空氣潔凈度。
潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風側,以減少對室內的污染。