潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設水平單向流的“隧道”(一側敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實現(xiàn)“隧道”部分達到5級以上潔凈度,工作臺就設在“隧道內(nèi)”。
對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室,尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言,其負荷特點是:由于排風量大造成新風量大,故新風處理所需冷量消耗大;送風量大,輸送動力消耗大,風機管道溫升高;生產(chǎn)設備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量(減少排風量);控制送風量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設備和可變風量的風機等入手。