在制造環(huán)境中,人們所關(guān)注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會(huì)像煙霧那樣散開,而會(huì)掉到組件的表面上,所以與在半導(dǎo)體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關(guān)注的范圍也越來越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標(biāo)與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
不同等級(jí)的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。
潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。因此,在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級(jí)別潔凈區(qū)的范圍,嚴(yán)格控制100級(jí)和更高級(jí)別單向流潔凈區(qū)的面積。