1、進(jìn)入潔凈室之前，預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護(hù)性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運送和接收區(qū)域。

在將關(guān)鍵空間設(shè)計為分級的潔凈室是合理的。

潔凈室要達(dá)到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。

當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。

潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。

潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。