污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙p害其功能或者使其徹底報廢。柴油噴射技術(shù)就是一個很好的例子。從1996年開始,在五年時間里這項技術(shù)性能迅速提高,結(jié)果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進行。
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動力消耗大,風(fēng)機管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機等入手。
潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。因此,在潔凈室設(shè)計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴(yán)格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。