矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形過濾器，也可以用普通過濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)（100級(jí)）潔凈度。

對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級(jí)別低時(shí)）作為終端過濾器，對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行后一級(jí)過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。

根據(jù)潔凈室的等級(jí)，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)；氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。