在制造環(huán)境中,人們所關(guān)注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會(huì)像煙霧那樣散開(kāi),而會(huì)掉到組件的表面上,所以與在半導(dǎo)體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關(guān)注的范圍也越來(lái)越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標(biāo)與常規(guī)潔凈室用戶的沒(méi)有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí),必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。
工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來(lái),使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。