污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙?huì)損害其功能或者使其徹底報(bào)廢。柴油噴射技術(shù)就是一個(gè)很好的例子。從1996年開(kāi)始,在五年時(shí)間里這項(xiàng)技術(shù)性能迅速提高,結(jié)果是噴射壓力越來(lái)越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過(guò)直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時(shí)只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行。
單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
按受控粒子的性質(zhì)劃分
(1)工業(yè)潔凈室:受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
(2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。
對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過(guò)濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。