無塵潔凈車間,是指無塵車間,美國國家航空航天局( NASA )飛往太陽系天體的太空行動要能夠維持生命,或者可能要維持處于基本進化狀態(tài)的生命,對于太空船表面上的孢子數(shù)有嚴格的限制要求。
噴射系統(tǒng)說明,許多汽車組件都必須保持表面高度清潔,但是這些關鍵的區(qū)域往往集中在組件的內(nèi)部。許多組件采用非常復雜的金屬結構,在成形后加工成終的形狀并且包含介質(zhì)通孔或需要高度清潔的內(nèi)表面??梢杂脕頇z查這種組件清潔程度的辦法是通過清潔程序,提取所有微粒污染物,然后分析清洗液。為了做到這一點,一般是把微粒污染物沉積到過濾膜上,然后進行顯微分析或者重量測定分析。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。