1、進(jìn)入潔凈室之前，預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級(jí)壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過(guò)濾;

4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護(hù)性外衣;

6、清潔;

7、雙門(mén)配置將相鄰的空間分開(kāi)，包括運(yùn)送和接收區(qū)域。

在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級(jí)的潔凈室是合理的。

污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙?huì)損害其功能或者使其徹底報(bào)廢。柴油噴射技術(shù)就是一個(gè)很好的例子。從1996年開(kāi)始，在五年時(shí)間里這項(xiàng)技術(shù)性能迅速提高，結(jié)果是噴射壓力越來(lái)越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上，燃料通過(guò)直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類(lèi)系統(tǒng)時(shí)只是保證不同的組件高度清潔是不夠的，組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行。

在制造環(huán)境中，人們所關(guān)注的微粒尺寸一般都比較大，它們不會(huì)像煙霧那樣散開(kāi)，而會(huì)掉到組件的表面上，所以與在半導(dǎo)體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外，人們關(guān)注的范圍也越來(lái)越窄，需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間，小的在40至60μm之間，例如金屬、類(lèi)污染物。這些用戶(hù)的目標(biāo)與常規(guī)潔凈室用戶(hù)的沒(méi)有什么兩樣：防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室，尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言，其負(fù)荷特點(diǎn)是：由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大，故新風(fēng)處理所需冷量消耗大；送風(fēng)量大，輸送動(dòng)力消耗大，風(fēng)機(jī)管道溫升高；生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量（減少排風(fēng)量）；控制送風(fēng)量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風(fēng)量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。