無塵潔凈車間,是指無塵車間,美國國家航空航天局( NASA )飛往太陽系天體的太空行動要能夠維持生命,或者可能要維持處于基本進化狀態(tài)的生命,對于太空船表面上的孢子數有嚴格的限制要求。
潔凈室的發(fā)展與現代工業(yè)、技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產)等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。
在生產工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。