污染物微粒聚集在組件不適當?shù)奈恢蒙峡赡軙p害其功能或者使其徹底報廢。柴油噴射技術就是一個很好的例子。從1996年開始,在五年時間里這項技術性能迅速提高,結果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進行。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
工作區(qū)的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。