潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實(shí)現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級(jí)以上潔凈度,工作臺(tái)就設(shè)在“隧道內(nèi)”。
對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級(jí)過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長(zhǎng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
潔凈工作臺(tái)不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí),宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè),以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對(duì)室內(nèi)的污染。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。