潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實(shí)際應(yīng)用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實(shí)現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級以上潔凈度,工作臺就設(shè)在“隧道內(nèi)”。
對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。因此,在潔凈室設(shè)計(jì)時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴(yán)格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。
在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè),把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。