1、進(jìn)入潔凈室之前,預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;
2、用可控的多級(jí)壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;
3、HEPA過(guò)濾;
4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;
5、保護(hù)性外衣;
6、清潔;
7、雙門(mén)配置將相鄰的空間分開(kāi),包括運(yùn)送和接收區(qū)域。
在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級(jí)的潔凈室是合理的。
單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過(guò)濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。
工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來(lái),使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。