凈化工程是在一定空間內(nèi)消除空氣中的顆粒物、有害空氣、等污染物，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、風(fēng)速、氣流分布、噪聲、振動(dòng)、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)的工程部門。無論外部空調(diào)如何變化，凈化工程專用房間均能保持原有的潔凈度、溫度、濕度和壓力。 不同的凈化項(xiàng)目有不同的目的和功能，所以不同的凈化項(xiàng)目有不同的組成部分。但凈化項(xiàng)目主要包括以下幾個(gè)部分:

1. 建筑圍護(hù)體系:它是簡(jiǎn)單的頂部、墻面和地面三部分，也就是說，六面立體的密閉空間。具體來說，包括門窗、裝飾弧等。

2. 電氣系統(tǒng):照明、電源及弱電，包括凈化燈、插座、電柜、線路、監(jiān)控、電話等強(qiáng)、弱電系統(tǒng);

3.風(fēng)道系統(tǒng):包括送風(fēng)、回風(fēng)、新風(fēng)、排氣管、末端及控制裝置等;

4. 空調(diào)系統(tǒng):包括冷(熱)水機(jī)組(包括水泵、冷卻塔等)(或氣冷式管道機(jī)水平,等等),管道,結(jié)合凈化空調(diào)箱(包括混流部分,主要效率部分、加熱/冷卻區(qū),除濕部分,增壓部分,中間部分效率,靜壓節(jié)等);

5. 自動(dòng)控制系統(tǒng):包括溫度控制、溫度控制、風(fēng)量和壓力控制、開啟順序和時(shí)間控制等;

6. 給排水系統(tǒng):供水、排水管道、設(shè)施及控制裝置等;

7. 空氣過濾系統(tǒng):初中過濾器等;

8. 地面清潔:一般采用環(huán)氧樹脂進(jìn)行地面清潔。

9. 其他凈化設(shè)備:如臭氧、紫外線燈、風(fēng)淋室(含貨淋室)、轉(zhuǎn)換窗、超凈工作臺(tái)、互聯(lián)鎖等凈化輔助設(shè)備。

全球半導(dǎo)體行業(yè)穩(wěn)定向好,中國(guó)市場(chǎng)如火如荼也帶動(dòng)了整個(gè)潔凈室產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。綜合來看,三因素決定我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展:

1)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體銷售占比和增速遠(yuǎn)高于全球平均水平,半導(dǎo)體市場(chǎng)消費(fèi)基數(shù)維持高位。

2)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備支出占比小增速快,設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)空間大。

3)半導(dǎo)體貿(mào)易逆差持續(xù)維持1,600億美元高位,“進(jìn)口替代”大勢(shì)所趨。

目前很多企業(yè)都在建設(shè)凈化工程，但編者提醒我們，在凈化工程的設(shè)計(jì)和施工中，有些細(xì)節(jié)需要慎重，不能敷衍了事。否則，很可能“千萬里的堤岸就會(huì)在蟻巢中崩塌”。在項(xiàng)目結(jié)束時(shí)，需要投入大量的資金和精力來完成，在驗(yàn)收時(shí)，由于風(fēng)道不當(dāng)或人員移動(dòng)，可能無法達(dá)到預(yù)期的凈化效果。空調(diào)凈化節(jié)能

空調(diào)凈化是清潔化工行業(yè)的一大能源消耗。凈化工程的設(shè)計(jì)和施工應(yīng)注意節(jié)能措施。設(shè)計(jì)、系統(tǒng)和分工的區(qū)域,空氣供給體積的計(jì)算,溫度和相對(duì)溫度的測(cè)定,測(cè)定空氣清潔度水平和變化的頻率,清新的空氣,比空氣管的絕緣,咬的影響形式生產(chǎn)風(fēng)管漏風(fēng)率,連接點(diǎn)的影響主要管和支管的氣流阻力,法蘭接頭是否漏氣,等等,而空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)等設(shè)備的選擇都與能耗無關(guān)，因此在凈化工程中有必要考慮這些細(xì)節(jié)。

根據(jù)氣候條件選擇空調(diào)箱

凈化工程中空調(diào)箱的選擇應(yīng)考慮氣候環(huán)境。例如,在北方地區(qū)冬季低溫和大灰塵含量,凈化項(xiàng)目應(yīng)該添加新鮮空氣預(yù)熱段一般空調(diào)機(jī)組,并選擇水噴灑空氣處理模式,所以它不僅可以洗空氣灰塵,但也產(chǎn)生熱交換達(dá)到所需的溫度和濕度。我國(guó)南方地區(qū)氣候濕潤(rùn)，空氣中粉塵濃度低，冬季不需要對(duì)新鮮空氣進(jìn)行預(yù)熱。對(duì)于空氣過濾和溫濕度調(diào)節(jié)，選擇初級(jí)效果過濾。冰面表面的溫濕度調(diào)節(jié)也可以加強(qiáng)降溫降溫的過程，然后再通過中間效應(yīng)過濾和終端過濾或亞過濾。

電子光學(xué)凈化工程

1、凈化廠房墻材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，頂板多采用50mm厚的硅巖板其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。角與角之前的拼接選用圓弧連接宜清潔，潔凈地板要求

2、地坪：可采用2mm/3mm環(huán)氧樹脂或是PVC地坪，電子廠房選用防靜電地坪

3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

凈化參數(shù)：換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。

壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;

溫度： 冬季>16℃;夏季濕度：45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX