Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV(超高真空)非增量式光柵
RESOLUTE UHV為超高真空應(yīng)用提供非增量式光柵技術(shù),幫助客戶提高測量效率,降低損壞風(fēng)險,并增強 可靠性。
RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的非增量式光柵技術(shù),通過一個適合在低達(dá)10 -10 Torr的超高真空條件下應(yīng)用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術(shù)優(yōu)勢。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構(gòu)造有利于進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA)而不會污染真空環(huán)境,非常適合性能高、半導(dǎo)體和科研等應(yīng)用領(lǐng)域。
頂部測量效率顯著提高
RESOLUTE的性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設(shè)計的非增量式光柵。RESOLUTE的分辨率達(dá)到32位(直線光柵達(dá)到1 nm),速度達(dá)到36 000轉(zhuǎn)/分(直線光柵達(dá)到100 m/s),其超凡的技術(shù)指標(biāo)是光柵技術(shù)的一大新突破!
但RESOLUTE帶來的不僅僅是高速度……先進(jìn)的檢測技術(shù)還兼具內(nèi)在的超低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和極低噪音(抖動)特點。
頂部結(jié)果:
速度波動穩(wěn)定性提高10倍
位置穩(wěn)定性提高10倍
可重復(fù)性提高10倍
電機產(chǎn)生的熱量減少
頂部降低損壞風(fēng)險
RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵,意味著開啟之后立即確定位置。
無需“開啟并晃動”
無需備用電池
立即實現(xiàn)對軸控制
快速電機換向
保持高負(fù)載
例如,這些特點意味著在斷電后仍可以確保機器人對晶片進(jìn)行拾取操作。
頂部可靠性增強
RESOLUTE的中心技術(shù)消除了幾種與光柵反饋有關(guān)的很常見失效模式。每次讀數(shù)頭收到來自主控制器的請求時,RESOLUTE柵距圖像,以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余,而讀數(shù)頭應(yīng)用復(fù)雜的交叉檢查和錯誤剔除,將定位精度保持在1 nm范圍內(nèi)。這種技術(shù)意味著不會發(fā)生計數(shù)錯誤或者“丟數(shù)”情況。
此外,RESOLUTE采用獨有的內(nèi)置位置校驗算法,在輸出之前主動校驗每個位置讀數(shù),以便在任何潛在問題到達(dá)控制器之前就能及時提醒。同時它還可以監(jiān)測速度、信號狀態(tài)和溫度。
RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗的位置信息。根據(jù)RESOLUTE使用的所有協(xié)議,應(yīng)用CRC檢查,以便能夠檢測出傳輸過程中的數(shù)據(jù)損壞。
頂部直線光柵和圓光柵
RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應(yīng)用的柵尺。
頂部直線光柵選項
名稱
材料
類型
精度
長度
RELA
ZeroMet
具有極低CTE的柵尺
±1 μm
1.13 m
RSLA
不銹鋼
柵尺
長度1 m時精度±1.5 μm
長度2 m時精度±2.25 μm
長度3 m時精度±3 μm
長度5 m時精度±4 μm
5 m
RTLA
不銹鋼
配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺
±5 μm/m
10 m
RTLA-S
不銹鋼
帶自帶不干膠的鋼帶柵尺
±5 μm/m
10 m
頂部圓光柵選項:
RESA圓柵具有低轉(zhuǎn)動慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。
REXA超高精度圓柵配用雙讀數(shù)頭使用時保證精度優(yōu)于±1角秒(在尺寸100 mm和更大的圓柵上)。尺寸從52 mm至550 mm。
型號供應(yīng):
光柵尺 RGS20-S
光柵尺 A-9766-0060
光柵尺 RGS20-S
光柵尺 A-9763-0050
光柵尺 RTLC40-S(100mm)
光柵尺 A-9420-0100,0.15米
光柵尺 RELM20U1A0180(A-9660-0180)
光柵尺 RELMIN20U1A0230A(A-9660-0230)
光柵尺 A-9660-0530
光柵尺 A-9660-1500
光柵尺 A-9682-3100
光柵尺 RELMIN20U1A0180A
光柵尺 RELMIN20U1A0380A
光柵尺 RELMIN20U1A0430A
圓光柵 RESA30USA075B
圓光柵 RESM20USA052
圓光柵