1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),氬弧焊接,上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)
機(jī)械泵+分子泵(國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口可選), 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa(設(shè)備空載抽真空24h),大氣~8*10-4Pa≦30min;采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度;閥門采用電磁驅(qū)動(dòng)擋板閥和手動(dòng)限流閥
蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極,蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源,配源間防污隔板可拆卸式,尺寸60*60mm,旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào),可加熱至300℃,可選水冷或是帶角度調(diào)節(jié)功能的基片臺(tái)可選配進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測(cè)和控制蒸發(fā)速率、膜厚PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng),具備漏氣自檢與提示、通訊故障,實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空L60cm×W60cm×H96cm 機(jī)電一體化機(jī)架,預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口