長晶爐是用于人工合成晶體的設(shè)備。在利用長晶爐獲取碳化硅晶體時，首先需要將高純碳化硅粉料置于密閉的石墨坩堝中，而后將密閉的石墨坩堝放入長晶爐的腔體內(nèi)，利用真空泵對腔體抽取真空后向腔體內(nèi)通入定量惰性氣體，然后通過感應(yīng)線圈實現(xiàn)石墨坩堝的感應(yīng)加熱以合成碳化硅晶體，同時爐體上設(shè)有石英玻璃制成的測溫窗口，以通過紅外測溫儀獲取腔體內(nèi)的溫度并根據(jù)溫度調(diào)節(jié)加熱功率。而在晶體合成的過程中，腔體內(nèi)的氣氛中會生成有一定量的揮發(fā)物，揮發(fā)物凝結(jié)在測溫窗口表面會影響紅外測溫儀獲取腔內(nèi)溫度的準(zhǔn)確性，進而影響加熱溫度的準(zhǔn)確性。目前是通過定期更換石英玻璃或者磨拋石英玻璃以保證測溫窗口的潔凈，但是這種方式會導(dǎo)致石英玻璃的損耗較大，成本較高，且更換及磨拋石英玻璃還會造成人力資源的消耗。