特種氣體：指被應用在特定領域，對純度、品種、性質有特殊要求的工業(yè)氣體。根據(jù)不同的應用領域，特種氣體又細分為標準氣體、醫(yī)療氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體、電子特氣。其中，電子特氣又細分成了摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入氣、刻蝕用氣體。

摻雜用氣體：四氟化碳、八氟環(huán)丁烷、八氟環(huán)戊烯等;

外延用氣體：四氫化硅、二氯二氫硅 、四氯化硅、乙硼烷等;

八氟環(huán)丁烷：氟化砷、三氟化磷、磷化氫等;

刻蝕用氣體：三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼等;

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