六氟化硫（SF6） 別稱滅弧氣體，UN：1080，CAS NO：2551-62-4，連接閥門：QF-2，QF-13A,DISS716。50kg/瓶
本品無色，無味，不燃燒，無電抗性，相對，僅有窒息性的液化氣體。液化瓶裝氣體，壓力為其蒸氣壓（202.78kgf/cm2@21.1攝氏度）。SF6以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛的應(yīng)用于電器工業(yè)，在半導(dǎo)體制造中的蝕刻。
純度有 4n（99.99%）5n（99.999%）
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本品無色，無味，不燃燒，無電抗性，相對，僅有窒息性的液化氣體。液化瓶裝氣體，壓力為其蒸氣壓（202.78kgf/cm2@21.1攝氏度）。SF6以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛的應(yīng)用于電器工業(yè)，在半導(dǎo)體制造中的蝕刻。
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