1Cr18Ni9Ti 優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)

機械泵+分子泵( 國產(chǎn)或進口可選) ，極限真空優(yōu)于 8*10-5 Pa(設(shè)備空載抽真空24h ) ，大氣~8*10-4 Pa≦30min；采用電阻電離一體 化真空規(guī)管讀取真空度；閥門采用電磁驅(qū)動擋板閥和手動限流閥；充氣系統(tǒng)標(biāo)配10sccm/50sccm 質(zhì)量流量計各 1 套

Ф2 英寸永磁靶 2 支 (含靶擋板) ，可升級為 3 支，兼容直流和射 頻，可以濺射磁性材料的靶材；直流脈沖濺射電源，全自動匹配射頻電源可任選；標(biāo)配冷卻水機系統(tǒng)

可選配進口或國產(chǎn)單水冷探頭膜厚儀

PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現(xiàn)一鍵抽停真空

L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，預(yù)留 1 個 CF35 法蘭接口