1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),氬弧焊接,上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)
機械泵+分子泵(國產(chǎn)或進口可選), 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa(設備空載抽真空24h),大氣~8*10-4Pa≦30min;采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度;閥門采用電磁驅(qū)動擋板閥和手動限流閥
蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極,蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源,配源間防污隔板
可拆卸式,尺寸60*60mm,旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào),可加熱至300℃,可選水冷或是帶角度調(diào)節(jié)功能的基片臺
可選配進口或國產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚
PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng),具備漏氣自檢與提示、通訊故障,實現(xiàn)一鍵抽停真空
L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架,預留1個CF35法蘭接口