火濕法聯(lián)合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金，合金再通過精細(xì)化的電解精煉進(jìn)行銦錫的分離等；該技術(shù)的缺點(diǎn)是錫主要存在于陽極泥中，銦電解過程中的陽極殘級率高，銦的回收率﹤98%。

采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗(yàn)，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗(yàn)工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時，還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。

ITO（氧化銦錫）靶材是濺射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一種，在顯示靶材中占比將近50%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)（1600度，通氧氣燒結(jié)）形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。

ITO靶材可應(yīng)用于以下領(lǐng)域：（1）平板顯示器（FPD）產(chǎn)業(yè)，如薄膜晶體管顯示器（TFT-LCD）、液晶顯示器（LCD）、高觸摸屏（TouchPanel）、等離子管顯示器（PDP）、有機(jī)電致發(fā)光顯示（OLED）等；（2）光伏產(chǎn)業(yè)，如薄膜太陽能電池；功能性玻璃，如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、飛機(jī)、汽車上的防霧擋風(fēng)玻璃、光罩和玻璃型磁盤等。其中，平板顯示器及太陽能電池是其主要應(yīng)用領(lǐng)域。