設(shè)備名稱：臺式等離子蝕刻設(shè)備、制造商：日本制造商

半導(dǎo)體故障解析用試料の前処理（配線露出）から各種プラズマ加工に幅広く対応致します、局所的なプラズマ加工が可能、低殘渣かつ高速加工を?qū)g現(xiàn)、試料を移動させた広範(fàn)囲の加工が可能

詳細仕様：

1、型式TP-50B裝置寸法裝置本體：

2、裝置寸法、裝置本體：：240mm(W) × 390mm(D) × 350mm(H)、重量：20 kg

3、ステージ仕様：3軸ステージ（Z軸手動、X,Y軸電動ステージ）

4、搭載試料：搭載可能サイズ：100mm × 100mm × t10mm

5、対応可能ガス：N2、D.A、Ar（CF4,O2はオプションとなります）

6、対象材料：有機膜、Si、SiO2、SiN、SiC（エッチングにはCF4ガスが必要となります）

吸引プラズマの利點：プラズマ発生ノズルからプロセスガスを直接排気する加工方法を吸引プラズマと呼んでおります。吸引プラズマは、プロセスガスをプラズマ発生ノズルから吹き付ける従來の加工方法に比べて様々な利點があります。

利點1. 局所加工精度向上：噴出プラズマの場合、プラズマが試料表面に広がる事で加工範(fàn)囲が広くなります。しかし、吸引プラズマの場合、プラズマはノズル直下のみに発生する為、より局所的な加工が可能です。

利點2. 殘渣の低減：吸引プラズマはエッチングの反応生成物をプラズマ発生ノズルから直接排気する事で殘渣の発生を低減することが可能です。

利點3. 加工溫度の低減

進口機械設(shè)備清關(guān)流程：

一、設(shè)備進口分類

1. 加工機床類：機械手臂、二手工業(yè)機器人、數(shù)控銑床、數(shù)控車床、數(shù)控磨床、CNC加工機床、鉆床精密沖床、激光切割機、鍛壓機床、齒輪加工機床等

2. 半導(dǎo)體設(shè)備:貼片機、點膠機、涂膠顯影機、光刻機、切片機、真空鍍膜機、氣相沉積裝置、固晶機等

3. 儀表儀器類：色譜儀、三坐標(biāo)測量儀、實驗儀器、IC測試機、生物儀器、測試臺、工業(yè)檢測儀器、醫(yī)療檢測儀器、分析儀等

4. 印刷設(shè)備類：海德堡、羅蘭、高寶、三菱、小森、膠印機、移印機、數(shù)碼印刷機、轉(zhuǎn)杯印刷機、凸版印刷機、苯胺印刷機、印報機

5. 其他工業(yè)設(shè)備：醫(yī)療設(shè)備、條碼設(shè)備、封口機、貼標(biāo)機、包裝機、食品飲料設(shè)備、化工設(shè)備、清洗設(shè)備、灌裝機、沖壓機、壓鑄機、干燥爐、特種設(shè)備、火花機、生產(chǎn)線等

二、進口所需清關(guān)資料

1.進口經(jīng)營單位（收貨人）的營業(yè)執(zhí)照；對外貿(mào)易經(jīng)營者備案

2.箱單；發(fā)票；合同；提單；貨物照片等

3.裝運前預(yù)檢討申請書;

4.擬進口舊設(shè)置裝備清單（包括：稱號、編碼、數(shù)目、規(guī)格型號、產(chǎn)地、創(chuàng)造日期、制造商、新舊狀況、購買的價格、用處）。

5.其他相關(guān)資料

三、設(shè)備進口流程

1.新設(shè)備

1）確定HS海關(guān)編碼和海關(guān)監(jiān)管條件（機電證等）

2）安排?？者\，確定和國外的貿(mào)易方式（常見EXW;FOB;CIF）

3)貨物到港，整理清關(guān)資料

4）換單—報關(guān)報檢—繳稅—海關(guān)查驗/放行—如查驗，安排查驗計劃—配送到指定位置

2.舊設(shè)備

1）確定HS海關(guān)編碼與監(jiān)管條件（CCIC或者免CCIC；是否需要辦理機電證）

a.辦理裝運前檢驗檢疫CCIC

b.辦理機電證（自動或者重點）

2）確定進口的貿(mào)易方式，安排國際?？者\

3）貨物到港，提前整理進口的清關(guān)資料

4)換單—報關(guān)報檢—審價—繳稅—海關(guān)查驗—海關(guān)放行—目的地查驗

四、設(shè)備進口一般時效

1.備案機械設(shè)備,一般進口的二手設(shè)備機電證需求5個工作日，重點二手電機證需要去北京的商檢辦理，正常需要15個工作日。

2.裝運前檢驗檢疫，需要在國外發(fā)貨前安排，正常4-7個工作日

3.海運（歐洲，美國等遠洋線38天，日本；韓國等近洋線5-6天）；空運1-2天

4.上?？诎秷箨P(guān)，3個工作日

5.配送，需要看距離遠近，市內(nèi)當(dāng)天達，其余看時機情況