超精加工是采用裝在振動頭上的細粒度油石對精加工表面進行精整加工。砂帶磨削是采用高速運轉的環(huán)形砂帶加工工件表面的磨削。鏡面磨削是達到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如鏡面，可以清晰成像。精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位，常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導軌和精密軸承等關鍵零件的加工。

精密加工工藝是指加工精度和表面光潔程度高于各相應加工方法精加工的各種加工工藝。精密加工工藝包括精密切削加工（如金剛鏜、精密車削、寬刃精刨等）和高光潔高精度磨削。精密加工的加工精度一般在10~0.1μm，公差等級在IT5以上，表面粗糙度Ra在0.1μm以下。

精密加工工藝是指加工精度以及表面光潔程度高于各相應加工方法精加工的各種加工工藝。精密切削加工是依靠精度高、剛性好的機床和精細刃磨的刀具用很高或極低的切削速度、很小的切深和進給量在工件表面切去極薄一層金屬的過程，顯然，這個過程能顯著提高零件的加工精度。

超精密加工對工件材質、加工設備、工具、測量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)、計算機控制以及其他先進技術。工件材質必須極為細致均勻，并經適當處理以消除內部殘余應力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。加工設備要有的運動精度，導軌直線性和主軸回轉精度要達到0.1微米級,微量進給和定位精度要達到0.01微米級。